威恒电子WCGF38旋转电磁铁在晶圆盒搬运机器人中的高精度锁紧解决方案

一、应用背景

在半导体制造和封装过程中，晶圆盒（如FOUP、SMIF）的安全搬运与精准定位至关重要。传统的机械锁紧机构存在体积大、寿命短、响应慢等问题，难以满足高洁净度、高可靠性的半导体生产环境需求。广州市威恒电子有限公司研发的 WCGF38-15/18-R62-限位90度旋转电磁铁，凭借其紧凑设计、长寿命和高精度旋转控制，成为晶圆盒搬运机器人锁紧系统的理想选择。

二、解决方案

1. 核心部件：WCGF38-15/18-R62旋转电磁铁

功能：通过90°正/逆时针旋转，实现晶圆盒的快速锁紧与解锁。

体积小巧：38mm×30mm×36mm，节省机器人末端执行器空间。

高寿命：动作寿命＞1000万次，满足半导体设备长期连续作业需求。

精准限位：90°旋转角度误差＜±2°，确保锁紧可靠性。

2. 旋转电磁铁性能参数规格

•双向旋转电磁铁又名：电机，电磁阀，螺线管

•工作电压:DC24V    •电流:0.39A    •阻值:62Ω   •功率:9.3W    •力矩:0.078N.m

•旋转角度:90°      •工作温度：-20到80℃

•通电率：100%（通电率=通电时间/通电时间+断开时间*100%）

•体积：方形38*30*36mm，轴径φ6mm（D型口φ5mm）

•配套驱动方式：双向桥式正反切换电路可选WCGD103/WCGD104驱动板

3. 设备工作原理

对接定位：机器人将晶圆盒搬运至目标位置，电磁铁与晶圆盒底部卡位结构对齐。

锁紧动作：电磁铁接收信号，驱动轴顺时针旋转90°，完成晶圆盒机械锁紧。

解锁释放：需更换晶圆盒时，电磁铁逆时针旋转90°，解除锁紧状态。

三、技术优势

高集成化：直接嵌入机器人末端夹具，无需额外传动机构。

快速响应：动作时间＜50ms，提升晶圆搬运效率。

无尘设计：电磁铁采用密封结构，避免颗粒污染，符合SEMI洁净标准。

四、客户收益

可靠性提升：1000万次寿命显著降低设备维护频率。

空间优化：小巧体积适应紧凑型机器人设计。

成本节约：减少传统气缸或伺服电机的复杂维护成本。

五、案例总结

威恒电子WCGF38系列旋转电磁铁通过高精度、长寿命的旋转锁紧动作，解决了晶圆盒搬运中的关键夹持难题，助力半导体设备厂商提升自动化水平与生产效能。未来，该技术还可扩展至光伏、液晶面板等精密搬运领域。

——广州市威恒电子有限公司 赋能精密制造，驱动智能未来

关于威恒电子
广州市威恒电子有限公司专注旋转电磁铁研发与生产，产品广泛应用于分选机、医疗、军用设备、自动化仪表，检测仪器，纺织等领域，致力于为客户提供高精度、长寿命的电磁驱动解决方案。

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